Всем привет! Необходимость заставила сделать эту работу. Ранее для экспонирования фоторезиста я применял медицинский УФ облучатель ОУФК -01. По сути это кварцевая лампа мощностью 250 ватт с длиной волны излучения, как написано в паспорте, 230 — 400 нм. Как известно, фоторезист наиболее чувствителен к УФ излучению длиной волны 360 — 380 нм. При работе эта лампа не давала стабильных результатов. Судя по выдержке 4 — 5 мин и высоте лампы над заготовкой платы с шаблоном 10 см, длина волны не находится в диапазоне наибольшей чувствительности фоторезиста. При такой длительной выдержке из -за неплотности шаблона (хоть он и сделан на пленке на лазерном принтере с новым картриджем и максимальными значениями расхода тонера) происходила паразитная засветка и плата с зазорами между дорожками менее 0,8 мм не получалась чистой и без "соплей". Поэтому созрел для изготовления специального УФ светильника для этих работ. За основу была взята конструкция настольной лампы из IKEA, закрепляемой на столе или полке с помощью струбцины, и имеющая головку со всеми степенями свободы. Это удобно для настройки светильника перед экспонированием.
В качестве источника УФ был использован 30 ваттный чип-светодиод, купленный на Али-экспресс со спектром излучения 365 нм. Вот он:
Этот мощный чип-светодиод при работе выделяет значительное тепло и должен быть помещен на радиатор площадью около 1000 см2. Я использовал прямоугольный радиатор от компьютерного процессора, которых, как грязи в мастерских по ремонту компьютеров. Мне его отдали просто так. Для питания светодиода там же, на Али-экспресс, одновременно с чип-светодиодом был куплен драйвер для него Uвых = 18 — 39 в с током нагрузки 900 мА. Все это было размещено вместо снятой головки лампы на тот же кронштейн. На кронштейн крепил саморезами 3 мм сквозь ребра радиатора. Кроме того, для обдува радиатора применен вентилятор 12 в 60х60х25 мм, который закреплен также саморезами на радиатор. Для питания вентилятора использовался китайский миниатюрный АС-DC преобразователь 12 в 450 мА ( размещен в черной коробочке). Вот фото:
В связи с тем, что чип-светодиод имеет широкий угол излучения, и чтобы максимально избежать боковой засветки шаблона, я применил своего рода плафон. Он изготовлен из полиэтиленовой воронки диаметром 10 см. У воронки срезана узкая часть на диаметре чуть больше диаметра чип-светодиода. Этот плафон покрашен черной матовой краской и закреплен на том же радиаторе.
Получившийся УФ излучатель имеет достаточную мощность при оптимальной длине волны излучения и дает равномерную засветку рабочего поля. Вот примерно так:
Собственно на этом все. Думаю теперь проблем не будет с экспонированием фоторезиста! Читайте продолжение…
